Kina se suočava s kritičnim tehnološkim nedostatkom u specijalnim plinovima za aplikacije vrlo velike integracije (VLSI) i ultra velike integracije (ULSI), pri čemu plinovi čija čistoća prelazi 6N (99,9999%) u potpunosti ovise o uvozu.
Kako bismo odgovorili na sve veću potražnju za elektroničkim specijalnim plinovima u proizvodnji poluvodiča, proizvodnji elektronike i fotonaponskoj industriji, naša je tvrtka posljednjih godina uspostavila strateško industrijsko{0}}sveučilišno partnerstvo sa Sveučilištem Zhejiang. Ova se suradnja usredotočuje na razvoj elektroničkih plinova stupnja 6N-, premošćivanje domaćih tehnoloških nedostataka i rješavanje ovog kritičnog izazova.
U lipnju 2025. naša je tvrtka osnovala Specijalni tim za inovacije plina i opreme Sveučilišta Zhejiang, posvećen pružanju dobavljačima poluvodiča naprednih proizvodnih sustava za elektroničke plinske proizvode.
Zajedničkim istraživanjem i zajedničkim tehnološkim otkrićima, uspješno smo razvili sustave proizvodnje i pročišćavanja za sveobuhvatan portfelj specijalnih plinova visoke-čistoće, uključujući: dušikov oksid (N₂O), bor triklorid (BCl3), trimetilsilan (3MS), propilen (C3H₆), oktafluorociklobutan (C₄F₈), heksafluoroetan (C₂F₆), bromovodik (HBr) itd.
Osim toga, postigli smo veliki napredak u tehnologiji jedinice za odvajanje zraka (ASU), ostvarujući visoke stope povrata argona i nisko-energetski rad, značajno poboljšavajući ukupnu učinkovitost sustava i ekonomske performanse.
page-1752-1279

 

Pošaljite upit